EUV-оборудование ASML нашло применение в биомедицине
Нанопоры выпускают на 300-мм пластинахИсследовательский центр IMEC показал, что оборудование ASML для EUV-литографии, применяемое в производстве микросхем, может использоваться и в биомедицине. С помощью экстремального ультрафиолета удалось наладить изготовление нанопор сразу на уровне целой кремниевой пластины. © Ferra.ru Нанопоры представляют собой отверстия диаметром всего несколько нанометров. В демонстрационном проекте IMEC были получены равномерные структуры размером около 10 нм на пластинах диаметром 300 мм. Такие размеры …